Longueur et grandeurs dimensionnelles
Les activités de recherche et de développement en longueur et grandeurs dimensionnelles se scindent entre le maintien à niveau des références et des études de développement.
En 2006, les principales études portent sur :
- la mise en oeuvre d'un système de mesure de longueurs d'ondes dans le vide basé sur l'utilisation d'un laser femtoseconde pour l'étalonnage des lasers utilisés en métrologie des longueurs ;
- la conception d'un dispositif de positionnement à résolutions nanométriques couplé à un microscope à force atomique (AFM) pour la nanométrologie dimensionnelle.
Traçabilité en métrologie des longueurs avec un système femtoseconde
Le dispositif en cours de développement est basé sur un laser femtoseconde Ti:Sa pompé à 532 nm (figure 1) suivi d'une fibre à cristaux photoniques pour que le peigne de fréquences couvre une octave.
Fig. 1. - Système femtoseconde en cours de développement au LNE-INM
Nanométrologie dimensionnelle
L'activité en nanométrologie dimensionnelle du LNE a pour objectif de développer une capacité à effectuer des raccordements dimensionnels pour des objets issus des nanotechnologies.
Le pivot de cette activité repose sur le développement d'un microscope à force atomique (AFM).
Microscope à force atomique (AFM)
Le capteur retenu pour sonder la topographie des échantillons est de type microscope à force atomique. Afin d'assurer une meilleure maîtrise de l'instrument (en particulier sur l'aspect de la traçabilité des mesures), le LNE a choisi de développer en interne son microscope AFM (figure 2).
Fig. 2. - Vue de la tête AFM sur son support utilisé pour le couplage sur le système de positionnement 3D
